掃描電子顯微鏡產品介紹
Helios 5 Hydra DualBeam掃描電子顯微鏡產品介紹：
Helios 5 Hydra DualBeam 通過結合高通量等離子技術和高分辨率 FIB-SEM 斷層掃描，開啟了未經探索的全新生命科學應用領域。
由于采用具有四個離子種類的最先進電感耦合等離子體 (ICP) FIB，可為每種樣品使用最佳離子束。
無論制備方法或樹脂類型如何，都可為每個樣品實現出色的表面質量。
除了更高的銑削通量和樣品兼容性外，先進的軟件套件還有助于實現一致、高質量、無 Ga 的大容量采集和 3D 數據分析。
對于生命科學研究，Helios Hydra DualBeam 提供：
無偽影銑削，無論樣品制備方法如何
可達到 Ga-FIB 銑削量 10 倍的快速高效銑削
全自動 3D 數據采集，結合 Auto Slice & View 軟件，可實現更高通量
使用旋轉銑削，可對大型水平表面（直徑不超過 1 mm）進行納米厚度連續切片
一種適合多用戶環境的多功能解決方案，兼容多種樣品和實驗問題
Helios 5 Hydra DualBeam 掃描電子顯微鏡主要特點：
應用空間廣泛
獨特離子源可提供以下四種快速、可切換離子種類，應用空間廣泛：Xe、Ar、O、N
高通量和高質量
使用下一代 2.5 μA 等離子 FIB 色譜柱進行高通量、高質量和統計學相關的 3D 表征、交叉切片和微加工。
先進的自動化
使用選配的 AutoTEM 5 軟件，以最快速輕松的方式實現自動化多點原位和非原位 TEM 樣品制備以及交叉切片
高質量樣品制備
由于采用新型 PFIB 色譜柱，可實現 500 V 最終拋光以及在所有操作條件下均可提供出色的性能，可以用氙、氬或氧進行高質量無鎵 TEM 和 APT 樣品制備。
納米級實現周期短
借助 SmartAlign 和 FLASH 技術，任何經驗水平的用戶都可以最短時間獲得納米級信息
完整的樣品信息
可通過多達六個集成在色譜柱內和透鏡下的集成探頭獲得清晰、精確且無電荷對比度的最完整的樣品信息
電子和離子束誘導沉積和蝕刻
通過選配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 氣輸送系統，在 DualBeam 系統上實現最先進的電子和離子束誘導沉積和蝕刻功能。
精確的樣品導航
借助 150 mm 壓電載物臺的高穩定性和準確性或 110 mm 載物臺的靈活性以及選配的腔室內 Thermo Scientific Nav-Cam 攝像機，可根據具體應用需求進行定制。
無偽影成像
基于集成的樣品清潔度管理和專用成像模式，例如 SmartScan 和 DCFI 模式
應用：
采用電鏡進行過程控制
現代工業需求高通量、質量卓越、通過穩健的工藝控制維持平衡。SEM掃描電鏡和TEM透射電鏡工具結合專用的自動化軟件，為過程監控和改進提供了快速、多尺度的信息。
質量控制和故障分析
質量控制和保證對于現代工業至關重要。我們提供一系列用于缺陷多尺度和多模式分析的 EM電子顯微鏡和光譜工具，使您可以為過程控制和改進做出可靠、明智的決策。
使用電鏡進行基礎材料研究
越來越小規模研究新型材料，以最大限度低控制其物理和化學特性。電子顯微鏡為研究人員提供了微米到納米級各種材料特性的重要見解。
掃描電子顯微鏡技術參數
Helios 5 Hydra DualBeam 掃描電子顯微鏡性能數據：
電子束分辨率
在最佳 WD：1 kV 時 0.7 nm、500 V (ICD) 時 1.0 nm
在重合點：15 kV 時 0.6 nm、1 kV 時 1.2 nm
電子束參數空間
電子束電流范圍：在所有加速電壓下 0.8 pA 至 100 nA
加速電壓范圍：350 V – 30 kV
著陸能量范圍：20* eV – 30 keV
最大水平射野寬度：4 mm WD 時 2.3 mm
離子光學系統
高性能 PFIB 色譜柱，具有獨特的電感耦合等離子 (ICP) 源，支持四種離子種類，并具有快速切換能力
離子種類(初級離子束)：Xe、Ar、O、N
切換時間 <10 分鐘，僅需軟件操作
離子束電流范圍：1.5 pA 至 2.5 μA
加速電壓范圍：500V – 30 kV
最大水平射野寬度：在等離子束重合點處為 0.9 mm
重合點時的氙離子束分辨率
<使用首選統計方法在 30 kV 時為 20 nm
使用選擇性邊緣方法在 30 kV 時 <10 nm
腔室
在分析 WD 時的 E 和 I 束重合點 (4 mm SEM)
端口：21
內部寬度：379 mm
集成式等離子清潔器
探頭
Elstar 色譜柱鏡筒內 SE/BSE 探頭(TLD-SE、TLD-BSE)
Elstar 色譜柱柱內 SE/BSE 探頭 (ICD)*
Everhart-Thornley SE 檢測器 (ETD)
查看樣品/色譜柱的 IR 攝像機
用于二級離子 (SI) 和二級電子 (SE) 的高性能腔室內電子和離子探頭 (ICE)
腔室內 Nav-Cam 樣品導航攝像機*
可伸縮、低電壓、高對比度、定向、固態反向散射電子探頭 (DBS)*
集成的等離子束電流測量
載物臺和樣品
靈活的五軸電動載物臺：
XY 范圍：110 mm
Z 范圍：65 mm
旋轉：360°(無限)
傾斜范圍：-38° 至 +90°
XY 重復性：3 μm
最大樣品高度：與共心點間距 85 mm
0° 傾斜時的最大樣品重量：5 kg(包括樣品架)
最大樣品尺寸：完全旋轉時 110 mm(也可以是更大的樣品，但旋轉有限)
計算中心旋轉和傾斜
高精度五軸電動載物臺，配有壓電驅動的 XYR 軸
XY 范圍：150 mm
Z 范圍：10 mm
旋轉：360°(無限)
傾斜范圍：-38° 至 +60°
XY 重復性：1 μm
最大樣品高度：與共心點間距 55 mm
0° 傾斜時的最大樣品重量：500 g(包括樣品架)
最大樣品尺寸：完全旋轉時 150 mm(也可以是更大的樣品，但旋轉有限)
