分析型掃描電鏡產品介紹
EVO 18 是一款具有處理各種材料能力的分析型顯微鏡，為您提供優異的成像品質。
標配能譜儀和波譜儀（EDS & WDC）接口，另有用于高級形貌與化學分析的全集成式顆粒分析和識別解決方案可供選擇。通過升級LaB6高亮度光源將與X射線分析相關的探針電流性能提升至一個全新的水準。
EVO 18 掃描電鏡的五象限背散射電子探測器（BSE）有助于增強低電壓性能及提供更豐富的形態信息。對于非導電樣品，電子束襯管技術可有效提高分辨率。
EVO 18 Research 是學術和研究機構使用的一款分析型掃描電子顯微鏡。EVO 18 Research 為您提供優異的成像品質，具有處理多種材料的能力。結合SmartSEM 軟件的易用性，使其成為多種研究應用的合適之選，范圍涵蓋半導體和電子技術、地質科學及材料研究。
產品特點
? 業內先進的X射線幾何結構以及標配能譜儀和波譜儀（EDS & WDS）
? 五象限背散射電子探測器（BSE）為您提供更豐富的形態信息
? 可變電壓功能用于分析較少制備的非接觸式樣品
? 可移動的顯微鏡樣品臺用于觀察大型樣品
? 配備鎢光源和可供選擇的LaB6 光源
? 優質的生產工藝，曾榮獲2011年英國最佳電子電氣工廠獎以及歐特克產品與工藝大獎
利用BSE探測器在5象限對濾紙的成像
分析型掃描電鏡技術參數
分辨力 | 3 nm (2 nm) @ 30 kV SE and W (LaB6) |
4 nm @ 30 kV VP mode | |
20 nm (9 nm) @ 1 kV SE and W (LaB6) | |
電壓 | 0.2 -30 kV |
探針電流 | 0.5 pA to 5 μA |
放大倍率 | < 5 - 1,000,000x |
視野 | 分析工作距離（AWD）為6 mm |
X射線幾何 | 8.5 mm AWD和35°起飛角 |
OptiBeam模式 | 分辨率，深度，分析，魚眼領域 |
壓力范圍 | 10 – 400 Pa |
可用的探測器 | ETSE - Everhart-Thornley二次電子探測器（標配） |
BSD - 五段二極管背向散射電子探測器（標配） | |
VPSE - 可變壓力二次電子探測器 | |
SCD - 試樣電流檢測器 | |
EDS - 能量色散譜儀 | |
WDS - 波長色散光譜儀 | |
CL - 陰極發光檢測器 | |
STEM - 掃描透射電子顯微鏡檢測器 | |
工作室尺寸 | 365毫米（?）x 275毫米（高） |
5軸電動試樣臺 | X = 125 mm，Y = 125 mm Z = 50 mm電動（最大樣品高度延伸至145 mm，在Z軸，傾斜和旋轉模塊已移除的情況下） T = -10 to 90°，R = 360°（連續） 通過鼠標，操縱桿或控制面板控制工作臺 |
未來的可升級路徑選項 | BeamSleeve |
圖像幀庫 | 分辨率：掃描速度為2或更高時，最高可達32k x 24k |
通過積分平均法來獲取信號 | |
圖像顯示 | 高清晰屏幕 |
具有雙通道顯示功能 | |
系統操作 | SmartSEM ** GUI由鼠標和鍵盤操作 |
多語言Windows?操作系統 | |
實用需求 | 100 - 230 V，50或60 Hz單相 |
無需水冷 | |
操縱桿、鍵盤、美國控制面板和鼠標 |
注：*OptiBeam - 有源色譜柱控制，可實現最高分辨率，最大視野或最佳景深
* SmartSEM - 第六代SEM控制圖形用戶界面
