境試驗箱.png "環(huán)境試驗箱")
測儀器.jpg "表面光學檢測")
高精度測量顯微鏡產(chǎn)品介紹
? 實現(xiàn)了高精度的測量顯微鏡。(最小顯示分辨力0.01um)。
? 主機的前臺操作設(shè)計是基于UD(通用化設(shè)計)的理念。
? 配備三軸電動前置控制手柄，這使傳統(tǒng)的顯微鏡操作有了全新的變化，即使在快速運動的過程中也能進行精細定位。
? 用戶可選擇傳統(tǒng)的顯微鏡光學管路或帶內(nèi)置激光自動對焦功能的光學管路，其觀察方法多種多樣，提高了測量工作的效率。
? 行程為250×150mm 的大工作臺可為大工件的測量提供足夠的空間。
? 使用超高精度低熱膨的玻璃光柵尺和高分辨力的讀數(shù)頭。
? 暢銷的數(shù)據(jù)處理裝置QM-Data200 和VisionUnit 可結(jié)合使用，提供有效且穩(wěn)定的測量環(huán)
境。
? 晶片夾持器(可用于小于8" 的晶片) 和高硬度中心支架滿足高精度測量的需求。
? 電動轉(zhuǎn)塔型擁有回縮功能，該功能在更換物鏡時啟動工作。
高精度測量顯微鏡技術(shù)參數(shù)
型號 | HyperMF-B2515B | HyperMF-UB2515B | HyperMF-UD2515B | HyperMF-UE2515B | HyperMF-UF2515B | ||||
光路 | 有限校正光學系統(tǒng) — | 無限校正光學系統(tǒng) BF(亮視場) | 無限校正光學系統(tǒng) BD(亮/暗視場) | 無限校正光學系統(tǒng) BF(亮視場)帶LAF功能 | 無限校正光學系統(tǒng) BF(亮/暗視場)帶LAF功能 | ||||
標準分劃板(內(nèi)置) | 90o點劃線十字線(線寬5μm) | ||||||||
可調(diào)瞳距 | 西登托夫型調(diào)節(jié)范圍：51-76mm | ||||||||
光路切換比 | 觀察/TV顯微攝影=50/50 | ||||||||
垂直傾斜角度 | 25° | 傾斜 | |||||||
TV端口 | 作為標準配置提供 | ||||||||
觀察圖像 | 正像 | ||||||||
目鏡 | 放大倍率 | 10X, 15X, 20X | |||||||
物鏡 (可選) | 可選單筒目鏡(配有一個目鏡) 或雙筒目鏡(配有兩個目鏡) | 配備兩個10X目鏡 | |||||||
ML系列物鏡 | 1X,3X,5X,10X,20X, 50X,100X | - | |||||||
BF(亮視場) | - | M Plan Apo, M plan Apo SL, G plan Apo | |||||||
BD(亮/暗視場) | - | BD Plan Apo, BD Plan Apo SL | |||||||
轉(zhuǎn)塔 (可選) | BF(亮視場) | - | (配有四孔手動傳感器/電動五孔傳感器) | ||||||
BD(亮/暗視場) | - | (配有四孔手動傳感器/電動五孔傳感器) | |||||||
聚焦部分 | 最大工件高度 | 150mm | |||||||
測量精度 | (1.5+0.01L) μm L：測量長度(mm) | ||||||||
驅(qū)動方式 | 使用控制手柄進行電動控制 | ||||||||
照明裝置 | 透射照明裝置 | 遠心光學系統(tǒng)，內(nèi)置孔徑光闌，鹵素燈泡(12V，50W)，100級光強度可調(diào)，光纖冷光照明 | |||||||
反射照明裝置 | 科勒照明，可變孔徑光闌機制，鹵素燈泡(12V，100W)，100級光強度可調(diào)，光纖冷光照明 | ||||||||
工作臺 | 測量范圍（X*Y） | 250×150mm | |||||||
測量精度 (X和Y軸無負載) | (0.9+0.003L) μm L：測量長度(mm) | ||||||||
工作臺尺寸 | 460×350mm | ||||||||
載物玻璃有效尺寸 | 300×200mm | ||||||||
旋轉(zhuǎn)角度 | ±3o | ||||||||
最大承重 | 30kg | ||||||||
驅(qū)動方式 | 使用手柄進行電動控制 | ||||||||
檢測器 | 高精度光柵尺(專利) | ||||||||
數(shù)顯 | 分辨力 | 0.01μm | |||||||
顯示軸 | X, Y, Z | ||||||||
數(shù)據(jù)處理裝置 | QM-DATA200或Vision Unit | ||||||||
操作部分 | 手柄急停按鈕 | 可用 | |||||||
精細間距 | 可用 | ||||||||
數(shù)據(jù)輸出 | 可用 | ||||||||
數(shù)字顯示復(fù)位 | 可用 | ||||||||
照明光強度控制 | 可用 | ||||||||
LAF（只對焦） | - | - | 可用 | ||||||
LAF（跟蹤對焦） | - | - | 可用 | ||||||
轉(zhuǎn)塔控制 | - | 可用 (安裝電動轉(zhuǎn)塔時) | |||||||
更換燈泡時，鹵素 燈泡用于透射照明 | 標準：02APA527(12V50W) | ||||||||
更換燈泡時，鹵素燈 泡用于反射照明 | 標準：517181(12V100W) | ||||||||
高亮度：12BAD602(12V100W) | |||||||||
高精度測量顯微鏡標準配置
主機；光學系統(tǒng)；10x目鏡；物鏡；轉(zhuǎn)塔；照明裝置；工作臺；數(shù)據(jù)處理裝置；
高精度測量顯微鏡可選配件
目鏡：15x；20x；
物鏡：ML系列：1X；3X；5X；10X；20X；50X；100X；
BF系列（亮視場）：M Plan Apo, M plan Apo SL, G plan Apo；
BD系列（亮/暗視場）：BD Plan Apo, BD Plan Apo SL
轉(zhuǎn)塔：配備四孔手動/五孔電動傳感器；
照明裝置：透射照明；反射照明；
數(shù)據(jù)處理裝置：QM-DATA200；Vision Unit；
高精度測量顯微鏡相關(guān)視頻
暫時不能提供，如需要詳細資料，請主動與我們聯(lián)系。
高精度測量顯微鏡資料下載
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高精度測量顯微鏡相關(guān)產(chǎn)品
碼視頻顯微鏡.jpg "數(shù)碼視頻顯微鏡")
